真空爐在平時的試驗中如果有液體存在，就需求一個液體蒸騰的進程（高真空下不需求加熱也能氣化），能夠通過長期拉真空來氣化掉這部分液體從而到達高真空（等穩(wěn)定）
如果長期都達不到目標氣壓的話，就要考慮系統和羅茨泵了，你能夠直接測一下羅茨泵的極限真空（不接入其他系統），若完好則便是系統的密封功能了。
(1)水冷設備，真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導別處置(水冷電極)、中間真空隔搶手等部件，均在真空、受熱狀態(tài)下工作。在這種極為晦氣的條件下工作，有必要確保各部件的結構不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不燒毀。因而，各部件應該根據不同的情況設置水冷設備，以確保真空熱處理爐能夠正常運轉并有滿足的運用壽命。
(2)選用低電壓大電流：在真空容器內，確實空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內時，真空容器內的通電導體在較高的電壓下，會產生輝光放電現象。在真空熱處理爐內，嚴重的會產生弧光放電，燒毀電熱元件、隔熱層等，形成重大事故和損失。因而，真空熱處理爐的電熱元件的工作電壓，一般都不超過80一100伏。一起在電熱元件結構規(guī)劃時要采納有用措施，如盡量防止有尖端的部件，電極間的間距不能太小窄，以防止輝光放電或者弧光放電的產生。
(3)大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態(tài)下運用：真空熱處理爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下工作的，因而對這些材料提出了耐高溫，蒸汽壓低，輻射作用好，導熱系數小等要求。對立氧化功能要求不高。所以，真空熱處理爐廣泛選用了鉭、鎢、鉬和石墨等作加熱與隔熱構料。這些材料在大氣狀態(tài)下極易氧化，因而，慣例熱處理爐不能選用這些加熱與隔熱材料。
(4)嚴厲的真空密封：眾歷周知，金屬零件進行真空熱處理均在密閉的真空爐內進行，因而，獲得和維持爐子原定的漏氣率，確保真空爐的工作真空度，對確保零件真空熱處理的質量有著非常重要的意義。所以真空熱處理爐的一個關鍵問題，便是要有牢靠的真空密封結構。為了確保真空爐的真空功能，在真空熱處理爐結構規(guī)劃中有必要道循一個基本原則，便是爐體要選用氣密焊接，一起在爐體上盡量少開或者不開孔，少選用或者防止選用動密封結構，以盡量減少真空走漏的機會。安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導出設備也都有必要規(guī)劃密封結構。
(5)自動化程度高：真空熱處理爐的自動化程度之所以較高，是因為金屬工件的加熱、冷卻等操作，需求十幾個乃至幾十個動作來完結。這些動作內在真空熱處理爐內進行，操作人員無法接近。一起，有些動作如加熱保溫結束后，金屬工件進行淬火工序須六個動作并且要在15秒鐘以內完結。在這樣迅速的條件來完結許多動作，是很容易形成操作人員的緊張而構成誤操作。因而，只要較高的目動化才干準確、及時按程序協調動。