真空爐，英文名:vacuum furnace即在爐腔這一特定空間內(nèi)利用真空系統(tǒng)（由真空泵、真空測量設(shè)備、真空閥門等元件通過精心組裝而成）將爐腔內(nèi)部分物質(zhì)排出，使?fàn)t腔內(nèi)壓強(qiáng)小于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，爐腔內(nèi)空間從而實(shí)現(xiàn)真空狀態(tài)，這便是真空爐。是一類工業(yè)爐。對環(huán)境無污染，不需進(jìn)行三廢處理，在靠近真空狀態(tài)下通過電熱元件加熱的工業(yè)爐。
真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛頂用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。爐膛真空度可達(dá)133×(10~10)Pa。爐內(nèi)加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應(yīng)加熱。最高溫度可達(dá)3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空鍛煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。
長處
1)徹底消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無蛻變層的清潔表面。這關(guān)于那些在刃磨時(shí)僅磨一面的刀具(如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口)切削性能的改進(jìn)聯(lián)系極大。
2)對環(huán)境無污染，不需進(jìn)行三廢處理。
3)爐溫測定、監(jiān)控精度明顯前進(jìn)。熱電偶的指示值與爐溫溫度到達(dá)±1.5°c。但爐內(nèi)大批工件不同部位的溫差較大，若選用淡漠氣體強(qiáng)制循環(huán)，仍可控制在±5°c溫差范圍內(nèi)。
4)機(jī)電一體化程度高。在溫度測控精度前進(jìn)的基礎(chǔ)上，工件移動、氣壓調(diào)度、功率調(diào)度等均可預(yù)先編程設(shè)定，按過程實(shí)施淬火和回火。
5)能耗明顯低于鹽浴爐?，F(xiàn)代先進(jìn)的真空爐加熱室選用優(yōu)質(zhì)隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內(nèi)，節(jié)能效果明顯。