真空燒結爐石墨件主要用于半導體元件和功率整流器件的燒結過程。它可用于真空燒結、氣體保護燒結和常規(guī)燒結。它是特種半導體設備系列中的一種新型工藝設備。設計理念新穎,操作方便,結構緊湊,可在一臺設備上完成多種工藝流程。也可用于其他領域的真空熱處理、真空釬焊等工藝。那么我們來看看真空燒結爐遇到以下三種情況時可以采取的應急措施。
一、供熱電源停電
1、水壓,當水壓低于0.15MPa時,壓力表報警。
2.接地故障。
3.對于真空放電,水冷電極與加熱器的連接處必須連接牢固,最好與反射器絕緣。
4.如果爐內(nèi)壓力在13.3-66.5Pa(這個真空度容易放電)。停電和斷電的原因可以認為是介質(zhì)擊穿引起的放電。
二,停止充氣。
1.開始抽真空前,請確認充氣時間長或無法充氣時,氣體管道是否堵塞。
2.如果氣路沒有問題,檢查電磁閥和充氣閥的動作。為了安全起見,在檢查之前,應停止所有與之相關的設備。
3.當充入真空室的空氣無法停止時,當泄壓閥動作時,所有氣體系統(tǒng)包括供氣閥和管道都應關閉。
4.確認充氣管是否漏氣,漏氣會影響產(chǎn)品質(zhì)量。
三 ,停電
1.停電時,如果斷水,應立即接通備用冷卻水,并接通水源。
2.如果在非加熱、加熱和冷卻期間能盡快恢復,重新啟動設備。如果需要長時間繼續(xù)運行,請保持設備原樣。
3.如果在加熱和冷卻過程中可以盡快恢復,重新啟動設備。如果需要很長時間,就保持原樣,讓設備自然冷卻。